微机电系统导论

卫荣汉 聂帮帮 邱京江 王文 齐国臣

目录

  • 1 微机电系统导论绪论
    • 1.1 微机电系统简介
    • 1.2 微机电系统应用
    • 1.3 微机电系统技术及器件
  • 2 光学曝光技术
    • 2.1 光刻技术简介
    • 2.2 光刻机
    • 2.3 光刻基本流程
  • 3 微纳米结构压印技术
    • 3.1 微纳压印技术简介
    • 3.2 压印技术
    • 3.3 压印设备及压印器件
  • 4 图形转移技术
    • 4.1 沉积法图形转移技术
    • 4.2 刻蚀法图形转移技术
  • 5 其他MEMS加工技术
    • 5.1 三束加工技术
    • 5.2 扫描探针加工技术
刻蚀法图形转移技术