职称：特聘教授
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个人介绍
主讲教师：卫荣汉 聂帮帮 邱京江 王文 齐国臣
教师团队：共5位
- 卫荣汉
- 聂帮帮
- 邱京江
- 王文
- 齐国臣
| 学校： | 郑州大学 |
课程介绍
教师团队
课程评价
教学资源
| 课程章节 | | 文件类型 | | 修改时间 | | 大小 | | 备注 | |
| 1.1 微机电系统简介 |
文档
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2022-11-17 | 279.80KB | ||
| 1.2 微机电系统应用 |
文档
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2022-11-17 | 4.50MB | ||
| 1.3 微机电系统技术及器件 |
文档
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2022-11-17 | 2.24MB | ||
| 2.1 光刻技术简介 |
文档
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2022-11-17 | 3.19MB | ||
| 2.2 光刻机 |
文档
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2022-11-17 | 3.68MB | ||
| 2.3 光刻基本流程 |
文档
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2022-11-17 | 2.40MB | ||
| 3.1 微纳压印技术简介 |
文档
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2022-11-17 | 558.68KB | ||
| 3.2 压印技术 |
文档
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2022-11-17 | 3.63MB | ||
| 3.3 压印设备及压印器件 |
文档
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2022-11-17 | 2.02MB | ||
| 4.1 沉积法图形转移技术 |
文档
.pptx
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2022-11-17 | 11.36MB | ||
| 4.2 刻蚀法图形转移技术 |
文档
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2022-11-17 | 6.92MB | ||
| 5.1 三束加工技术 |
文档
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2022-11-17 | 5.14MB | ||
| 5.2 扫描探针加工技术 |
文档
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2022-11-17 | 32.44MB |
文档 课程章节
