本案例在国内某大型太阳能电池片生产厂家车间稳定运行，所有的检测数据结果基于灵闪和二次元设备（高精度影像测量仪）进行对比，具体见表12-6。

表12-6　检测数据对比（灵闪与二次元设备）

为了更好地展现灵闪与二次元设备测量数据的相对关系，下面选取了小部分单一刻线宽度的数据，如图12-32所示。

图12-32　刻线宽度测量趋势图（灵闪与二次元设备，纵坐标单位为毫米，横坐标为序号）

同时可以得出每一次测量的差值趋势图，如图12-33所示。

图12-33　刻线宽度差值趋势图（灵闪与二次元设备，纵坐标单位为毫米，横坐标为序号）

从上述两个测量结果可以看出，虽然灵闪与二次元每次测量的数据都存在一定差异，但是整体趋势一致，差值均在±10μm以内，因此灵闪在完成高精度测量的同时，还简化了整个检测流程，并且实现了二次元设备不可能完成的在线检测，这对于激光SE工艺的检测方法是质的提升。