灵闪视觉检测中的共线性检测用于测量三个点是否在一条直线上，如果共线性并非百分百，输出百分数，百分数越高，共线性越好，如图5-12所示。

图5-12　共线性测量工具

利用共线性算法，可以检测出半导体载带孔位在可偏移范围内是否合格，对于这种肉眼难以区分的误差，共线性测量实用性更好。