灵闪视觉测量中的最短距离检测用于两图形之间的距离检测，输出图形间的最短距离参数，如图5-10所示。

图5-10　最短距离测量工具

与之相对应的有最长距离检测，输出图形间的最长距离参数，如图5-11所示。

图5-11　最长距离测量工具

图5-10所示为半导体载带检测中测量孔位之间的距离，图5-11所示为测量图案轮廓到字体框架之间的最长距离。“最距离”广泛应用于半导体行业以及制造业，对尺寸的高精度以及格式的严格化做出了巨大的贡献。