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工业机器视觉:基于灵闪平台的开发及应用
1.7.2.4 5.2.4 点到点的距离
5.2.4 点到点的距离

灵闪视觉测量中的测量点到点的距离多用于多孔位两两之间、Mark点之间以及角点之间的距离测量,如图5-8所示。

图5-8 点到点的距离测量工具

除此之外,点到点的投影距离在测量中也起到很重要的作用,相较于点到点的距离而言,它的测量在某些需求中更为必要,如图5-9所示。

图5-9 点到点的投影距离

图5-8为芯片内部角点距离检测,图5-9为半导体孔位中心点之间的距离检测,在要求仅为点到点之间时,芯片角点距离利用点到点之间的距离测量即可。而对于精度要求极高的电子半导体之间的孔位点与边缘直线之间存在框架关系时,利用点到点的投影距离测量更佳。