离子渗氮炉是利用低真空辉光放电原理，使氮、氢离子轰击工件表面而升温，并使氮离子渗入工件表面的化学热处理设备。改变渗入气体，也可以进行渗硫、氮碳共渗、硫氮共渗、碳氮共渗、硫氮碳共渗等其他化学热处理。根据炉体的形状，离子渗氮炉可分为钟罩式炉、井式炉和卧式炉等，其中以钟罩式炉和井式炉应用较多。