高频感应气体渗氮的渗剂为氨气。渗氮加热温度为520～560℃。将工件置于耐热陶瓷或石英玻璃容器中，高频感应加热，容器中通氨气。

高频感应气体渗氮时，由于容器中仅工件周围介质温度较高，氨气分解主要在工件表面附近进行，使有效活性氮原子数量大为提高。此外，高频交变电流产生的磁致伸缩效应所引起的应力，能促进氮在钢中的扩散。因此，高频感应气体渗氮可使气体渗氮过程大为加速，能缩短开始阶段（3～5h）的渗氮过程，使这段时间缩短为气体渗氮的1/2～1/3。

表5-38所示为几种材料的高频感应渗氮工艺及处理效果。

表5-38 几种材料的高频感应渗氮工艺及效果

高频感应渗氮也可采用膏剂法渗氮。即，将表面涂覆含N化合物膏剂的工件高频加热进行渗氮。