网络分析仪主要是基于对单端口的反射系数和双端口的S参数的测量，测得微波器件或系统的参数。主要分为标量网络分析仪和矢量网络分析仪。

一个扫频信号源和一台传统的外差式频谱仪可构成一个简单的标量网络分析仪。它只能测量幅度对频率响应曲线，不能测量相位信息。但标量网络分析使用简单，造价低。

要想测量到相位信息，必须使用矢量网络分析仪。用一个扫频源、一个功分器和一个双通道测量接收机可构成一台简单的矢量网络分析仪。扫频源的信号被功分器分成两路，一路送测量接收机的参考通道，另一路送到被测单元的输入端，被测单元的输出端连接到测量接收机的测量通道。这样测量通道的信号就可以和参考通道的信号进行幅度和相位的比较。

还有一种仪器是噪声系数分析仪，专门用来测量器件或系统的噪声系数。主要通过“热/冷”或“Y因子”法来测量器件或系统的噪声系数。最新的矢量网络分析仪经过改进后，可以用来分析噪声系数。