欧姆接触是指金属与半导体的接触,而其接触面的电阻值远小于半导体本身的电阻,使得组件操作时,大部分的电压降在于活动区(Activeregion)而不在接触面。

欲形成好的欧姆接触,有二个先决条件:
(1)金属与半导体间有低的界面能障(Barrier Height)
(2)半导体有高浓度的杂质掺入(N≧10EXP12cm-3)
前者可使界面电流中热激发部分增加;后者则使界面空乏区变窄,电子有更多的机会直接穿透(Tunneling),而同使Rc阻值降低。
若半导体不是硅晶,而是其它能量间隙(Energy Cap)较大的半导体(如Ga,As),则较难形成欧姆接触(无适当的金属可用),必须于半导体表面掺杂高浓度杂质,形成Metal-n+-norMetal-p+-p等结构。