本项目学习指导：

3．1  内容提要

本项目首先介绍电容式传感器的工作原理，讨论电容式传感器的类型、结构形式和相应特性。讲解电容传感器的等效电路和测量转换电路。介绍电容式传感器的应用。讲述硅电容式集成压力传感器和加速度传感器的结构和工作原理。

3. 2  基本要求

1.应熟悉的内容

电容式传感器的组成、工作原理和应用。

2.应掌握的内容

电容式传感器的分类和特点以及其输入

和输出的关系，电容式传感器的测量转换电路。

3. 3  重点与难点

1.重点

电容式传感器的工作原理;电容式传感器的灵敏度及非线性分析;电容善传感器的等效电路及测量转换电路。

2.难点

电容式传感器的测量电路;电容式传感器的灵敏度及非线性分析。

通过学习可以更详细地理解和掌握:

(1)电容式传感器的类型、简述每种类型各自的特点和适用的场合。

(2)为什么变面积型电容传感器的测位移范围较大?

(3)了解变极距型电容传感器的非线性的原因及如何改善其非线性

(4)说明介电常数型电容传感器的主要优点和应用范围