7.3 透射电子显微镜（TEM）

1933年，德国工程师MaxKnoll和Ernst Ruska制造出了世界上第一台透射电子显微镜(TEM)。1939年，西门子公司生产商用TEM (10nm)，1950年高压电镜(0.14nm)。

TEM工作原理：在真空条件下，利用高速电子束轰击样品(<300nm)产生穿透电子(散射电子)，再利用电磁透镜变换聚焦点，探测器收集后成像的一类电镜。 

样品不同位置的电子透过强度或电子透过晶体样品的衍射方向不同，经电磁透镜放大后，在荧光屏上显示图象明暗程度不同。电子透过强度与加速电压、样品物质原子序数、样品厚度、真空度等因素有关。