7.1 电子显微技术简介

电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生的各种物理信号，分析试样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成。

电子显微分析与光学显微镜相比具有以下特点：

1) 具有在极高放大倍率下直接观察试样的形貌、晶体结构和化学成分。

2) 为一种微区分析方法，具有很高的分辨率，成像分辨率达到0.2～0.3nm（TEM），(SEM的最大放大倍数为2万左右) 可直接分辨原子，能进行纳米尺度的晶体结构及化学组成分析。

3) 各种仪器日益向多功能、综合性方向发展

电子显微镜发展简史：1924年L. De和Broglie发现运动电子具有波粒二象性。1926年Busch发现在轴对称的电磁场中运动的电子有会聚现象。二者结合导致研制电子显微镜的伟大设想。1931年，第一台电镜在德国柏林诞生。至1934年电镜的分辨率可达50nm，1939年德国西门子公司第一台电镜投放市场，分辨率优于10nm。1935年克诺尔（Knoll）提出扫描电镜的工作原理，1938年阿登纳（Ardenne）制造了第一台扫描电镜。60年代后，电镜开始向高电压、高分辨率发展，100~200kV的电镜逐渐普及，1960年，法国研制了第一台1MV的电镜，1970年又研制出3MV的电镜。近一、二十年出现的透射、扫描，带有分析附件的分析电镜。电镜控制的计算机化和制样设备的日趋完善，使电镜成为一种既观察图象又测结构，既有显微图象又有各种谱线分析的多功能综合性分析仪器。