实验要求

1、所有进入实验室的同学必须事先预习整个实验的材料，并撰写完成实验报告理论部分，带到实验室备查；

2、三人一组，同学间应完成相互讲解提问，没有疑问后再行进入实验室；

3、测量前先使用比色法对薄膜的厚度进行预估；

3、每组需要测量3片不同的硅片，每个硅片至少测量3个不同位置的点位，每个点位测量3次求平均值。

4、利用椭偏法得到的结果与比色法得到的结果进行比较，并进行实验结果的分析。

椭偏仪原理