微电子工艺学

郭笑天

目录

  • 1 半导体产业
    • 1.1 直播
    • 1.2 课件
  • 2 半导体材料及硅衬底的制备
    • 2.1 晶圆制备 直播
    • 2.2 晶圆制备  课件
  • 3 超净间洁净技术
    • 3.1 洁净技术 课件
    • 3.2 洁净技术 直播
  • 4 晶圆制造与封装概述
    • 4.1 晶圆制造与封装  直播
    • 4.2 浅谈晶圆制造工艺过程
  • 5 生产能力与工艺良品率
    • 5.1 工艺良品率 直播
    • 5.2 生产能力与工艺良品率
  • 6 氧化
    • 6.1 氧化工艺   课件
    • 6.2 氧化工艺  直播
  • 7 刻蚀工艺
    • 7.1 刻蚀工艺课件
  • 8 光刻技术
    • 8.1 图形转移技术与光刻胶
    • 8.2 光刻工艺
    • 8.3 影响光刻质量的因素
  • 9 掩膜版加工
    • 9.1 掩膜版加工  课件
    • 9.2 掩膜版加工 资料
  • 10 掺杂工艺
    • 10.1 掺杂工艺  课件
      • 10.1.1 高温扩散
      • 10.1.2 离子注入
    • 10.2 掺杂工艺  资料
  • 11 薄膜淀积
    • 11.1 物理气相沉积（PVD）
    • 11.2 化学气相沉积（CVD）
    • 11.3 原子层淀积（ALD）
    • 11.4 外延生长（Epitaxy）
  • 12 金属化（Metallization Process）
    • 12.1 IC金属布线
  • 13 微电子工艺实验
    • 13.1 氧化膜厚度的测量（4学时）
    • 13.2 初识磁控溅射仪
      • 13.2.1 真空的获得与测量
      • 13.2.2 磁控溅射系统
  • 14 课程总结
  • 15 集成电路开发与应用
    • 15.1 集成电路设计与仿真
      • 15.1.1 MOS管原理
      • 15.1.2 基于MOS管设计非门
      • 15.1.3 基于MOS管设计或门
      • 15.1.4 基于MOS管设计与门
      • 15.1.5 MOS管搭建基础门电路
      • 15.1.6 拓展学习
    • 15.2 集成电路分选
      • 15.2.1 分选机种类简介
      • 15.2.2 芯片手动分选
      • 15.2.3 拓展学习
    • 15.3 集成电路应用
      • 15.3.1 应用电子模块介绍
      • 15.3.2 集成电路应用
      • 15.3.3 应用案例
      • 15.3.4 拓展学习
    • 15.4 集成电路制造
      • 15.4.1 典型芯片制造工艺
      • 15.4.2 晶圆制造工艺
      • 15.4.3 流片工艺
      • 15.4.4 晶圆检测工艺
      • 15.4.5 封装工艺
      • 15.4.6 芯片检测工艺
      • 15.4.7 操作规范
      • 15.4.8 拓展学习
      • 15.4.9 集成电路的发展概况
        • 15.4.9.1 课程导学
        • 15.4.9.2 集成电路设计概述
        • 15.4.9.3 史上最全的半导体产业链全景
        • 15.4.9.4 拓展学习
氧化工艺   课件