真空与薄膜技术

吴新坤

目录

  • 1 真空技术
    • 1.1 前言、薄膜及应用
    • 1.2 真空基础概念、真空度划分
    • 1.3 吸附与脱附、真空材料
    • 1.4 机械泵
    • 1.5 其他真空泵
    • 1.6 真空测量
    • 1.7 真空部件和真空系统
  • 2 薄膜沉积的物理方法
    • 2.1 PVD 蒸发
    • 2.2 电阻蒸发、电子束蒸发、高频感应加热蒸发
    • 2.3 合金与化合物蒸发、外延、激光蒸发、PLD
    • 2.4 蒸发速率、残气
    • 2.5 蒸发源、溅射
    • 2.6 气体放电、直流溅射、射频溅射
    • 2.7 磁控溅射、离化
  • 3 薄膜沉积的化学方法
    • 3.1 几种化学反应方法
    • 3.2 MOCVD、PECVD等
    • 3.3 电化学法
  • 4 薄膜材料的表征方法
    • 4.1 膜厚表征
    • 4.2 结构表征
    • 4.3 成份表征、其他
  • 5 复习 简版
    • 5.1 复习 简版
前言、薄膜及应用
  • 1 课件
  • 2 拓展学习
  • 3 附件
  • 4 课堂录课
  • 5 拓展阅读电子书

1.1 前言、薄膜及应用

复习后请一周内完成第一次作业。


想一想：

1、在我们身边，看到过的、听到过的，有哪些现象和真空薄膜有关？

2、哪些地方存在真空？哪些地方用到哪种薄膜？真空是如何获得的？薄膜是如何制备的？

3、为什么很多时候需要真空条件下制备薄膜？

4、对电子功能薄膜应用我们会有些什么需求？


【例１】手机上有多少地方要用到真空与薄膜技术？

【例２】数码相机、航空航天、平板显示、太阳能电池、芯片、LED、电动汽车、储能、数据中心、军工雷达、紫外杀菌、5G基站、快充、智能电网等应用实例和真空薄膜技术的关系。


思政进课堂：（科学精神、工程意识、社会责任感以及家国情怀）

思考电子功能薄膜的制备和利用对于经济社会可持续发展的重要意义、我国真空及薄膜技术的发展历程、在各领域上的重要作用。


  • 世界变化较快，设备越来越复杂，东西越来越小、越来越轻巧、越来越便宜。

  真空薄膜技术要解决的问题就是克服这些问题，提供复杂系统小型化的解决办法。

  • 本课程的讨论对象是：具有结构/功能特性的固态薄膜（thin solid films）！