化学气相沉积
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第三章 软化学合成方法
第一节 化学气相沉积
3.1.1 化学气相沉积概述
3.1.2 薄膜材料的概述
知识点:化学气相沉积的机理、分类、影响因素及应用,薄膜材料的基本理论、制备技术与表征
重点:化学气相沉积的机理、分类、影响因素,薄膜的制备与表征
难点:化学气相沉积的应用,薄膜的形成机理

