光电功能薄膜材料的制备与应用(JD)

田守勤，谢毅

目录

  • 1 绪论
    • 1.1 第一课时 课程介绍
    • 1.2 第二课时 薄膜的简介及特性
  • 2 光电功能薄膜材料的结构
    • 2.1 第一课时 光电功能薄膜材料的晶体结构
    • 2.2 第二课时 光电功能薄膜材料的能带理论
  • 3 光电功能薄膜材料的制备及表征
    • 3.1 第一课时 光电功能薄膜材料的制备
    • 3.2 第二课时 光电功能薄膜材料的表征
  • 4 光电功能薄膜材料的应用
    • 4.1 第一课时 光电功能薄膜材料应用
    • 4.2 第二课时 光电功能薄膜材料应用
  • 5 第五单元
    • 5.1 第一课时 光电功能薄膜材料应用
    • 5.2 第二课时 光电功能薄膜材料应用
  • 6 薄膜制备实验
    • 6.1 磁控溅射镀膜实验与讨论
    • 6.2 溶胶凝胶镀膜实验与讨论
  • 7 薄膜表征实验
    • 7.1 薄膜光学性能测试实验
    • 7.2 薄膜实验讨论
  • 8 课程总结与讨论
    • 8.1 课程总结
    • 8.2 组织学生讨论实验
磁控溅射镀膜实验与讨论

实验课程1: 磁控溅射镀膜；

实验目的：了解并掌握磁控溅射法制备薄膜的方法及工艺过程；

实验内容：1. 观察磁控溅射法制备薄膜的实验现象；2. 思考影响薄膜厚度的因素有哪些？



溅射工艺过程：