电容式传感器根据工作原理可以分为变极距式、变面积式和变介电常数式。变极距式电容传感器主要用于检测微小位移。变面积式电容传感器主要用于检测大位移、角位移。变介电常数式多用于检测湿度、液位等。

电感式传感器分为自感式传感器、互感式传感器两大类。自感式电感传感器常见形式有变气隙式、变截面式和螺旋式等三种，多采用差动形式。互感式传感器就是差动变压器，输出为交流电压，通过相敏检波电路或差分整流电路辨别衔铁的运动方向，并且消除零点残余电压。

由光线构成的传感器都是光纤传感器，光纤传感器根据光纤在传感器中的作用分为功能型和非功能型两大类。

长光栅测量直线位移原理是通过组成光栅副的两个光栅相对运动，形成莫尔条纹。通过将莫尔条纹的明暗变化转换成正弦波电信号，再通过放大整形电路讲正弦信号变成脉冲信号，使光栅移动的栅距数与输出的脉冲数一一对应。

编码器是一种测量角位移的传感器，可以分为绝对式和增量式两种。绝对式编码器与增量式编码器最大的区别是当掉电或电源出现故障时，绝对式编码器的位置信息会保留，而增量式的位置信息可能会丢失。