目录

  • 1 第一章  薄膜光学特性
    • 1.1 前言
    • 1.2 光谱与光学薄膜
    • 1.3 薄膜干涉
  • 2 第二章 光学薄膜膜系设计与应用
    • 2.1 增透膜
      • 2.1.1 单层增透膜的设计
      • 2.1.2 多层增透膜的设计
    • 2.2 反射膜
    • 2.3 分束膜
    • 2.4 滤光膜的设计
    • 2.5 带通滤光片
  • 3 光学薄膜制造技术
    • 3.1 3.1光学真空镀膜机与PVD技术
    • 3.2 真空获得与测量技术
    • 3.3 热蒸发技术
  • 4 光学薄膜的镀制工艺
    • 4.1 光学薄膜器件的质量要素
    • 4.2 光学薄膜器件的工艺要素
    • 4.3 薄膜制备工艺的优化
    • 4.4 获得精确厚度的方法
    • 4.5 光学薄膜材料(光学、机械和化学性质)
  • 5 光学薄膜检测技术
    • 5.1 薄膜透射率和反射率的测量
    • 5.2 薄膜光学常数和厚度测量
分束膜