电子探针对试样的要求

EPMA对试样的要求与SEM对试样的要求基本上是一样的。不同的是EPMA比SEM对试样的要求多了一条，那就是试样表面要平整光滑，尤其是作定量分析，这一要求更为重要。因为试样不平，会使定量分析结果产生较大的误差。