电子探针的基本功能

（一）点分析    （二）线分析     （三）面分析

（一）点分析

点分析就是对试样上选定的点（微区）的化学成分进行分析，包括定性分析，半定量分析和定量分析

  1. 定性分析

用聚焦电子束定点轰击试样上被选定的点（微区），用能谱仪或波谱仪对试样发射的X射线进行展谱，得到该点的X射线能量色散谱图或波长色散谱图。从谱图上的峰位，可以得知各特征X射线的能量或波长。根据特征X射线的能量或波长就可确定元素的种类。

2. 定量分析

 聚焦电子束→试样微区→特征X射线→用波谱仪展谱→特征X射线的强度I→元素含量C

  定量分析是在定性分析的基础上进行的。定量分析一般采用波谱仪。将波谱仪的分光晶体置于不同的位置，分别测定各元素主要特征X射线的强度值，并与已知成分的标样的对应谱线强度值进行对比，根据下式可求出试样中待测元素的浓度C。

（二）线分析 

使聚焦电子束在试样表面沿选定的直线进行慢扫描，X射线谱仪处于探测某元素特征X射线的状态。显像管射线束的横向扫描与电子束在试样上的扫描同步进行，用谱仪（波谱仪或能谱仪）探测到的特征X射线的强度（计数）调制显像管射线束的纵向位置，就可得到反映该元素含量变化情况的特征X射线强度沿扫描线的分布曲线。

为了更加直观地反映元素含量分布与形貌、结构的关系，通常是把电子束扫描线，特征X射线强度分布曲线重叠在二次电子图像之上，如右图所示。

（三）面分析

  使聚焦电子束在试样表面作二维栅网式扫描，显像管内的射线束在荧光屏上作同步扫描。X射线谱仪处于探测某元素特征X射线的状态，用谱仪探测到的特征X射线的强度信号调制显像管荧光屏的亮度，即可得到由许多亮点组成的图像，称为特征X射线扫描象或元素面分布图像。某元素在试样的某个区域含量越高，荧光屏图像上相应区域的亮点就越密集，因此，根据扫描图像上亮点的疏密和分布，就可确定该元素在试样中的分布。