波谱仪与能谱仪的比较

（一）分析元素范围

波谱仪可以分析4Be~92U，能谱仪可分析11Na~92U。

（二）分辩率——谱仪分开或识别两个相邻谱峰的能力。可用谱峰半高宽来表示。

 波谱仪的分辨率较高，约5eV，能谱仪的分辨率较低，在145~155eV左右。

（三）探测根限——谱仪能测出的元素的最小百分浓度

  波谱仪的探测极限约0.01~0.1%，能谱仪的探测根极限为0.1~0.5%。

（四）X光子的几何收集效率——谱仪接收到的X光子数与发射源射出的X光子数的百分比。

   波谱仪的收集效率很低（＜0.2%）

   能谱仪的收集效率较高（＜2%）

  由于波谱仪对X光子的收集效率较低，由辐射源射出的X射线需要聚焦才能使探测器接收到的X射线有足够的强度，因此，做波谱分析要求试样表面平整光滑。

   能谱仪不用分光晶体分光，直接用探测器收集X光子，收集效率高，不需要聚光，所以对试样表面的要求没有波谱仪那么严格。

（五）量子效率——探测器的X光子计数与进入探测器的X光子数的百分比。

       能谱仪的量子效率很高，可达100%。

       波谱仪的量子效率很低，通常低于30%。

（六）瞬时X射线谱接收范围——谱仪在瞬间能探测到的X射线谱的范围。

波谱仪某个在瞬间只能探测波长满足布拉格方程的X射线。能谱仪在某个瞬间能探测各种能量的X射线。波谱仪是对试样中的元素逐个分析，能谱仪则是同时分析。

（七）最小电子束斑直径

         波谱仪要用较大直径的电子束，约200nm

         能谱仪可用较小直径的电子束，约5nm

        分析厚样品时，电子束斑大小不是影响空间分辨率（分析的最小区域）的主要因素，波谱仪和能谱仪都适用。但对于薄膜样品，空间分辨主要决定于束斑大小。在这种情况下，要求探测器有高的几何收集效率和量子效率，所以需要采用能谱仪。

（八）分析速度

        能谱仪分析速度快,几分钟就能把全部能谱显示出来。

       波谱仪分析速度较慢，一般需要十几分钟以上。

（九）谱失真

        波谱仪不存在谱失真的问题，能谱仪造成谱失真的因素较多。

              波谱仪和能谱仪的优点和缺点

波谱仪的优点：分析元素范围广，探测极限小，分辨率高，适用于精确度要求较高的定量分析。

 波谱仪的缺点：分析速度较慢，试样表面要平整光滑，而且需要用较大的电子束流，容易引起样品和镜筒的污染。

能谱仪的缺点：分析元素范围，探测极限，分辨率等方面不如波谱仪。

 能谱仪的优点:   分析速度快，可用较小的束流，对试样表面的要求没有波谱仪那样严格，因此，它特别适合与扫描电镜配合使用。