基本概念

电子探针X射线显微分析就是利用聚焦电子束与试样作用时产生的特征X射线对试样中某个（某些）微区的化学成分进行分析。

        由于作用在试样上的电子束很细，形状如针，故称之为电子探针。也正是由于电子束很细，其作用范围很小（束斑直径只有几百nm，穿透深度为μm数量级，侧向扩散距离也在μm数量级，其作用范围大约在1μm3），因此，利用电子探针可以对试样的微小区域进行化学成分的定性分析和定量分析。

用聚焦电子束轰击试样表面的待测微区;          

使试样原子的内层电子跃迁，释放出特征X射线;       

用波谱仪或能谱仪进行展谱分析，得到X射线谱；

根据特征X射线的波长/能量进行元素的定性分析；

根据特征X射线的强度进行元素的定量分析。

                 电子探针的结构

电子探针的结构与扫描电镜的结构非常相似。除了信号检测处理系统不同外，其余部分如电子光学系统、扫描系统、图像显示记录系统和真空系统、电源系统等几乎完全相同。事实上，扫描电镜配上能谱仪或波谱仪，就具备了电子探针仪的功能，现在许多扫描电镜都配有能谱仪或波谱仪，或两种谱仪都配有，这样，扫描电镜和电子探针就合二为一了。