扫描电镜工作原理、构造和性质

1.工作原理

扫描电子显微镜是利用聚焦电子束在试样表面扫描时产生的物理信号的强度来调节显像管的亮度，从面获得试样的显微形貌像和成分像的仪器。

p由电子枪发射的能量为5-35 keV的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。

p聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射(以及其它物理信号)，二次电子发射量随试样表面形貌而变化。

p二次电子信号被探测器收集转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。

p扫描电镜的一个主要特征是入射电子束在试样上的扫描与图像显示器上的扫描是完全同步的，而且，图像显示器的亮度是由试样上对应点产生的物理信号的强度来调节的。因此，荧光屏上的亮度变化与试样发出的物理信号的强度是一一对应的。

p因为试样发出的物理信号是与试样的表面形貌和成份密切相关的，所以荧光屏上显示的图像能反映出试样的表面形貌特征和成份特征。

2.扫描电镜构造

扫描电子显微镜主要由电子光学系统(镜筒)、扫描系统、信号控制放大系统、图像显示记录系统、真空系统和电源系统等部分组成。

3.扫描电镜的主要性能

主要性能指标有：放大倍数、分辨率和景深等。

4.样品制备