电容式传感器
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电容式传感器是一种把被测的机械量转换为电容量变化的传感器。它的敏感部分就是具有可变参数的电容器。电容式传感器可分为极距变化型、面积变化型、介质变化型三类。
2.5.1 变间隙式电容传感器
因电容量和极板间的距离成反比,改变极板间距离,电容量随之改变。电容量的相对变化与间隙的相对变化成正比。
为了提高测量的灵敏度,减小非线性误差,实际应用常采用差动式结构。

它的特点是可用来测量微小的线位移(微米级),可用于力,压力,振动引起的极间距离变化。该类传感器灵敏度高,并易于实现非接触测量。

2.5.2 变面积式电容传感器
电容的相对变化与位移的大小成正比,但方向相反。

一般用于测量角位移或较大的线位移(厘米级)。为了提高测量灵敏度也常做成差动式结构。
2.5.3 变介电常数式电容传感器

常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。
2.5.4 测量转换电路
1、桥式测量电路
2、调频电路
3、运算放大器测量电路
2.5.5 应用
1、电容式测厚仪

2、电容式压力传感器

3、电容式加速度传感器


4、电容式荷重传感器

5、电容式油量表

2.5.6 常见电容式传感器
作业:
常用的电容式传感器有哪些种类?

