本课程创建于1959年，是国家级一流专业微电子科学与工程（教改班）的专业核心课。1958年，课程创始人孙青等教师制备我国高校第一支半导体锗单晶，开创了本课程理论联系实践的教学特色。1970年5月7日，自主创建了一条完整的半导体生产线，至今仍是国内少数拥有工艺实践教学的课程。2015年，开设了西电SPOC课程，开始了线上线下混合教学。2020年并入了半导体器件工艺设计课程，7个平行班均为混合式教学。2022年建设爱课程和e-MOOC联盟的现代集成电路制造技术MOOC，2022年增设集成电路制造技术与工艺实践（卓越班）和微纳集成电路工艺（教改班）课程，课程组所有三门课、8个教学班均为混合式教学。 目前课程组（包括集成电路制造技术与工艺实践和微纳集成电路工艺（微电子科学与工程教改班）课程）教学团队12人，均为博士学位，其中教授及博导4人、副教授及硕导5人、讲师及硕导1人、助教2人，形成了年龄与知识结构合理、具有创新意识、科研能力强的教学团队。 课程团队始终秉持“以学生为中心，德育为先，能力为重，知识为基，创新精神”的人才培养理念，进行教学设计和教学实践。课程坚持知识、能力和素质有机融合的教学目标，使学生系统掌握现代集成电路制造技术的专业知识，深刻理解集成电路制造技术对环境和社会发展的影响，具备深度分析和解决复杂问题的能力，培养勇于质疑、大胆创新的精神和能力，传承西电红色基因，塑造国家建设和社会发展的合格人才。 经过六十多年的发展，课程组形成了以下特色：①集体思维研讨式教学：以问题为导向，从课前小组讨论问题，到课中师生共同研讨关键问题解决思路；从课后小组分析讨论翻转课堂资料，再到课中翻转课堂展开集体辩论，以集体智慧实现对知识的掌握与应用，培养团队精神。②培养创新思维和科学精神的科教融合教学：基于国家级科研成果和前沿技术，将思政元素与创新技术案例有机融合，学习创新方法，开拓学术视野，培养科学精神。③提升解决复杂工艺问题能力的产教融合实践教学：基于企业工艺难题，开展高水平产教融合工艺设计，提升创新能力和复杂问题解决能力。④三位一体创新课程知识体系：将工艺原理、工艺仿真和工艺设计有机结合，体现了后摩尔定律工艺知识体系，有效支撑了复杂工艺工程问题解决能力、创新意识与创新思维的培养。⑤四上四下教学法：将自学、讲授、研讨、案例、翻转课堂、工艺仿真和工艺设计等教学模式有机混合到线上线下，合理安排到课前课中课后，进行回溯递进教学，实现对知识的深刻理解、熟练掌握与灵活应用。⑥西电红色精神特色的全过程课程思政：以元素多元、模式多样、线上线下混合、贯穿教学全过程的西电红色精神特色课程思政，切实解决了课程思政内容单调、模式单一、无特色等问题。